根据最近的机构研究报告，为您总结相关行业的投资要点，供参考：
1.光刻机行业投资要点：
荷兰政府公布出口限制措施，光刻机受限情况与ASML预期相符。DUV波长更短、更先进的EUV光刻机此前已经受限。较老的TWINSCANNXT:1980Di光刻机不在限制范围内。需要关注荷兰政府是否授予出口许可证及其所附条件的细节。
2.成膜设备行业投资要点：
除光刻机之外，用于金属剥离的原子层沉积（ALD）设备，设计用于硅、碳掺杂硅、硅锗（SiGe）或碳掺杂SiGe外延生长的设备也被限制出口。ASMI公司的主要产品包括ALD（原子层沉积）、EPI（硅外延）、PECVD和炉管设备，未来其在华销售可能受到影响。荷兰成膜设备的国产替代有望快速推进，需关注国内相关企业的布局和发展情况。
3.国内半导体设备企业投资要点：
进口受限，多项设备国产化有望加速。中微公司(688012)正在开发集成电路前端生长硅及锗硅的外延设备（EPI），已取得了可喜的进展。北京北方华创(002371)实现外延工艺设备全覆盖，覆盖集成电路、功率器件、射频、半导体照明等领域应用需求。拓荆科技、微导纳米分别在PECVD、ALD领域布局，值得关注其后续发展情况。
4.风险提示：
除了荷兰政府限制出口的风险外，还需关注地缘政治风险、半导体设备需求不及预期、行业竞争加剧等风险。
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